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日本電子JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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- 產(chǎn)品簡介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點
JSM-7500F場發(fā)射掃描鏡配備了冷場發(fā)射電子槍和半浸沒式(semi-in-lens)物鏡,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能夠達到很高的分辨率。通過與GB模式組合,即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率,是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外,JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。
強大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式(semi-in-lens)物鏡組合為一體,冷場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗殻c通用型掃描電鏡一樣,對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察.
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB(二次電子檢測)模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式(背散射電子檢測)、Sb模式(二次電子為主)和Bs模式(背散射電子為主)四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子,Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子,這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
強大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式(semi-in-lens)物鏡組合為一體,冷場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗殻c通用型掃描電鏡一樣,對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察.
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB(二次電子檢測)模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式(背散射電子檢測)、Sb模式(二次電子為主)和Bs模式(背散射電子為主)四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子,Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子,這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
電子槍 | 冷場發(fā)射 | ||
物鏡 | semi-in-lens物鏡 | ||
分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV | ||
加速電壓 | 0.1~30kV | ||
束流 | 1pA ~ 2nA | ||
自動光闌角控制透鏡 | 內(nèi)置 | ||
倍率 | x 25 ~ x 1,000,000 | ||
檢測器 | 高位檢測器(SED) | ||
低位檢測器(LED) | |||
能量過濾器 | r-能量過濾器 | ||
Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 | ||
樣品交換室 |
內(nèi)置(具有干燥氮氣導(dǎo)入功能) 氣鎖式、可交換的max樣品:φ100mm×40mmH |
||
樣品臺 | 5軸馬達驅(qū)動、全對中測角樣品臺 | ||
樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,傾斜:-5~70°, 旋轉(zhuǎn): 360° |
更多詳細資料可來電咨詢,服務(wù)熱線:400-600-6053!