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日立 S-3700N掃描電子顯微鏡

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產品簡介
掃描電子顯微鏡(SEM)現(xiàn)今已經(jīng)延伸到廣大企業(yè)單位，不僅在學術研究領域，各行各業(yè)均有廣泛應用，與此趨勢相對應，用戶需要觀測和分析的樣品種類也有所擴大。S-3700N的開發(fā)正是完全考慮了上述廣泛的多元化應用的需求，此款產品的標準配置包含一個二次電子檢測器，一個五段分割背散射電子(BSE)探測器和可變壓力(VP)模式。
這就使得絕大部分的樣品觀測，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
S-3700N有一個巨大的樣品室，可容納直徑達300 mm和高度達110 mm的樣品。樣品室設置有多種配件端口，可以適應電鏡在當今廣泛的應用需求，這些配件包EDX，WDX，EBSD，樣品室監(jiān)視裝置，冷臺等。此款產品的多功能性以及靈活的系統(tǒng)配置。
產品特點
 大型的樣品室可裝載max直徑達300 mm的樣品，還可同時安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達110 mm。
5軸馬達驅動優(yōu)中心傾斜、旋轉、圖像導航系統(tǒng)、樣品臺追蹤、軌跡存儲與中心復位等樣品臺的馬達控制功能一應俱全。
S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設計，這使得操作者經(jīng)過簡單培訓即可操作。
顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實時圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實時信號混合并同時顯示兩個不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。
可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導電樣品。
高靈敏度半導體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。
標準配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件很大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴散泵掃描電子顯微鏡，此款產品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
項目 描述
分辨率 二次電子分辨率 30 kV時，3.0 nm(高真空模式)
3 kV時，10 nm(高真空模式)
背散射電子分辨率 30 kV時，4.0 nm(低真空模式)
放大倍率 ×5 - ×300,000
加速電壓 0.3 - 30 kV
低真空范圍 6 – 270 Pa 圖形菜單
圖像移動 ±50 μm (WD= 10 mm)
max樣品尺寸 Φ300 mm
樣品臺 X 150 mm
Y 110 mm
Z 5 - 65 mm
R 360°
T -20° - 90°
觀測區(qū)域 Φ203 mm(可旋轉)
max高度 110 mm (WD= 10 mm)
樣品臺控制 計算機控制5軸馬達驅動優(yōu)中心
電子光學 電子槍 預對中鎢燈絲
物鏡光闌 可移動式4孔物鏡光闌
槍偏壓 帶可控4偏壓
檢測器 埃弗哈特 索恩利二次電子檢測器
高靈敏度半導體背散射電子探測器，五分割
分析位置 WD = 10 mm, 取出角 = 35°
顯示器 控制模式 操縱桿，鍵盤和旋鈕
顯示器 19.1英寸液晶平面顯示器(如有更改，恕不另行通知)
自動合軸 自動設定束流，自動合軸
自動圖像調整 自動聚焦，自動消象散/聚焦，自動調整亮度和對比度
存儲圖像精度 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
圖像文件格式 BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式 全屏顯示：1,280 × 960 像素
小屏顯示：640 × 480 像素
雙屏顯示：640 × 480 像素 × 2
信號混合模式
真空系統(tǒng) 操作 全自動程序
渦輪分子泵 210L/sec. × 1
機械泵 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1
安全措施 斷電保護，漏電保護
輔助功能 光柵旋轉，動態(tài)消像散
動態(tài)聚焦/傾斜補償功能
自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能
三維動畫維修指南
導航，測量方便，傾斜畫面

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