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美國(guó)Laurell勻膠機(jī)650-23N
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- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)
一、產(chǎn)品概述:
勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國(guó)Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。
二、勻膠機(jī)工作原理:
勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
主要性能指標(biāo):
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米); |
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm, 4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載); 5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%; 6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm; 7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度; 8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方; 9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。 10、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!] 13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進(jìn)口水平測(cè)試儀; 可選配置: IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制; OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制; UD自動(dòng)滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機(jī)械裝置; |