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威而信MMD-H50粗糙度儀
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- 產(chǎn)品簡介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點
評定參數(shù) |
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評定參數(shù) |
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
測量范圍 |
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Z軸 |
800μm |
X軸 |
50mm |
直線度精度 |
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直線度精度 |
0.4μm |
分辨率(Z軸) |
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分辨率(Z軸) |
0.001μm |
采樣數(shù)/分解能 |
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采樣數(shù)/分解能 |
9600點/16bit |
濾波器 |
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濾波器 |
高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),2RC濾波器 |
取樣長度 |
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取樣長度 |
λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
截止波長 |
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截止波長 |
0.25,0.8,2.5 |
測量速度 |
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測量速度 |
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
返回速度 |
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返回速度 |
(自動) 1mm/s |
示值誤差 |
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示值誤差 |
±5% |
示值穩(wěn)定性 |
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示值穩(wěn)定性 |
3% |
測量重復(fù)性 |
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測量重復(fù)性 |
3% |
圖形放大倍率 |
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圖形放大倍率 |
10-500000自動調(diào)整 |
傳感器 |
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傳感器 |
針尖 R=2μm鉆石(測量力1mN) |
R=5μm鉆石(測量力4mN) |